合肥芯碁微电子装备股份有限公司-合肥芯碁微电子装备股份有限公司（简称“芯碁微装”），成立于2015年6月，位于合肥市高新区集成电路产业基地，是一家拥有完全自主知识产权的、专业致力于半导体无掩模光刻设备、高端PCB专用激光直写成像设备（LDI）、显示领域OLED直写光刻设备的研发和生产。